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第一一一六章 不同意(1 / 2)

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GCA当时投入研发EUV技术项目的3000万美元经费,可以收购ASML40%的股权,不是一笔小数目!

GCA当时账上的现金流只剩下300多万美元,公司要花钱的地方多的是。

孙健前世在互联网上看过不少有关ASMLEUV光刻机的文章,作者纷纷感叹研发和生产EUV光刻机之难难于上青天,被称为外星人的科技水准,是迄今为止人类科技领域所能达到的最尖端技术,没有之一。

为了打破封锁,投入巨资,举国之力也没有看见成果。

前世90年代末,干式193n波长光刻机遇到了65n制程工艺的极限,再往下就寸步难行,如何跨入40n制程工艺?成为阻挡所有光刻机等半导体厂商的世界性难题,科学家和产业界提出了各种超越193n波长的方案,其中包括157nF2激光,电子束投射(EPL),离子投射(IPL)、EUV(13.5n)和X光等。

相对而言,157nF2激光的技术难度稍低,不少公司开始下注157nF2激光,其中尼康和SVG在这个技术路线走的最远,是最接近商业化量产的两家公司。

几年后,ASML收购了SVG,也拥有了157nF2激光技术,又砸下数亿美元进行研发,此外ASML也还尝试开发EUV光刻机。

财大气粗的英特尔一开始就倾向于激进的EUV(13.5n)方案,希望彻底解决光刻机的波长世界性难题,集中全球顶尖科技精英一起愚公移山,他们说服对高科技开明的克林顿内阁,发起成立了EUVLLC(EUV有限责任公司)。

EUVLLC由英特尔和美国能源部牵头,集中了当时如日中天的摩托罗拉、IBM和AMD,以及享有盛誉的美国三大国家实验室:劳伦斯利弗莫尔实验室、劳伦斯伯克利实验室和桑迪亚国家实验室,集中数百位世界顶尖科学家,投资2亿美元研发经费,从理论上验证EUV可能存在的技术问题。

英特尔当时打算邀请光刻机行业第一、第二位的Nikon和ASML加入EUVLLC,但美国政府担心最前沿的光刻机技术落入外国公司手中,反对Nikon和ASML加入。

ASML为了表现诚意,同意在美国建立一所工厂和一个研发中心,以此满足所有美国本土的产能需求,另外,还保证55%的零部件均从美国供应商处采购,并接受定期审查,做出多项让步后,最后成功加入EUVLLC,能够享受其基础研究成果,Nikon却没有机会加入,失去了同ASML竞争的机会。

几年之后,终于论证了EUV的可行性,于是EUVLLC的使命完成,公司解散,各个成员踏上独自研发之路。

ASML加入EUVLLC后,享受到的研究成果大大加快了其EUV的研发进度,2005年摩尔定律陷入停滞,极紫外光刻技术被认为是制程突破10n制程工艺的关键,但由于EUV光刻机几乎逼近物理学、材料学以及精密制造的极限,光源功率要求极高,透镜和反射镜系统也极致精密,还需要真空环境,配套的抗蚀剂和防护膜的良品率也不高,别说是对日本与荷兰,就算是科技全球第一的美国,举国之力独自突破这项世界最尖端的技术,也是痴人说梦。

由于技术难度极高,需要巨额的研发资金,尼康和佳能只得选择放弃,彻底沦为中低端光刻机厂商。

ASML成为唯一的候选人!

ASML以23%的股权得到英特尔、三星和台积电的53亿欧元的研发EUV光刻机的资金,而这三家客户也因此获得优先供货权。

ASML也成为美国大财团控股的荷兰高科技公司!

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